
En 1997, Jos Benschop, líder del departamento de investigación de ASML, reevaluó la tecnología UVE y descubrió que Zeiss podía desarrollar espejos sofisticados para transportar la luz ultravioleta. La longitud de onda de 13,5 nm se eligió para la luz UVE debido a que no requería elementos tóxicos como el berilio. Zeiss utiliza iones de argón para pulir los espejos a nivel atómico y detectar defectos con una precisión inferior a un nanómetro. La empresa ASML compró Cymer en 2013 para acelerar el desarrollo de la tecnología UVE.